BARRIER STRUCTURE AND NOZZLE DEVICE FOR USE IN TOOLS USED TO PROCESS MICROELECTRONIC WORKPIECES WITH ONE OR MORE TREATMENT FLUIDS

申请公布号：US2013032182(A1)

申请号：US201213649755

申请日期：2012.10.11

申请公布日期：2013.02.07

申请人：

FSI INTERNATIONAL, INC.;FSI INTERNATIONAL, INC.

发明人：COLLINS JIMMY D.;DEKRAKER DAVID P.;GAST TRACY A.;ROSE ALAN D.

分类号：B08B3/02

主分类号：B08B3/02

摘要：The present invention provides a tool for treating microelectronic workpieces with one or more treatment materials, including liquids, gases, fluidized solids, dispersions, combinations of these, and the like.

FIRE RESISTANT COATING

SEAT SPRING FORCE SETTING

CARCAS CONSTRUCTION

PRESERVATION OF FRUIT AND VEGETABLES

ESCAPE SYSTEM

FUEL SYSTEM FOR INTERNAL COMBUSTION ENGINES.

INJEKTIONSSPROEJTE TIL TO-KOMPONENTMEDIKAMENTER

APPARAT TIL OMSTABLING AF EN BLADSTABEL

ENTWICKLER ZUR ENTWICKLUNG VON ELEKTROSTATISCHEN LADUNGSBILDERN

AUFZEICHNUNGSGERAET

CHLORINATOR FURNACE FOR TI, ZR TETRACHLORIDES

EINLEGE- UND AUSWERFMECHANISMUS EINES BANDABSPIELGERAETES

VORRICHTUNG ZUM ERSCHWEREN DER VERDREHUNG ZWEIER IM WESENTLICHEN KOAXIALER, GEGENEINANDER DREHBARER TEILE

GEHAEUSE ZUR AUFNAHME EINES INSTRUMENTES, EINSCHLIESSLICH EINES SAITENINSTRUMENTES UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DESSELBEN

EINRICHTUNG ZUR VERSORGUNG EINER ARBEITSSTRECKE IN EINER VERPACKUNGSMASCHINE MIT EINEM REGELMAESSIGEN PAECKCHENSTROM

VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR GEWINNUNG VON BILDINFORMATIONEN

KUECHENGERAET ZUM SCHNEIDEN VON GEMUESE, INSBESONDERE KARTOFFELN IN STREIFEN

TEMPERATURSCHALTER

VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG HELLER FARBREINER EISENOXIDROTPIGMENTE

VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR ERWAERMUNG DER RAUMLUFT