一种新型光罩基准标记版图,申请号CN201210014986.9-传众专利搜索

一种新型光罩基准标记版图

申请公布号：CN102540699A

申请号：CN201210014986.9

申请日期：2012.01.18

申请公布日期：2012.07.04

申请人：

发明人：何伟明;吴林

分类号：G03F1/42(2012.01)I;G03F9/00(2006.01)I

主分类号：G03F1/42(2012.01)I

代理机构：

代理人：王敏杰

地址：201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号

摘要：本发明新型光罩基准设计版图，引入了光罩方位识别标记，在生产线上，操作员根据光罩方位识别标记标示的方位和指向作为统一的识别标记，来决定光罩在光罩盒中摆放位置，从而降低光罩在实际使用过程中发生位置摆放错误而造成损失的几率，有效提高光罩管理的安全性和效率。

主权项：一种新型光罩基准标记版图，其特征在于，包括主图形区，和环绕包围所述主图形区的遮光带；还包括位于主图形区和遮光带外部的光罩方位识别标记。