超声波悬浮和气浮的混合悬浮减振装置,申请号CN201110414297.2-传众专利搜索

超声波悬浮和气浮的混合悬浮减振装置

申请公布号：CN102518740A

申请号：CN201110414297.2

申请日期：2011.11.24

申请公布日期：2012.06.27

申请人：

吉林大学

发明人：刘家郡;江海;刘建芳;焦晓阳;李晓韬;杨志刚

分类号：F16F13/00(2006.01)I

主分类号：F16F13/00(2006.01)I

地址：130012 吉林省长春市前进大街2699号

摘要：本发明涉及一种新型超声波悬浮和气浮的混合悬浮装置，利用超声波悬浮和气浮的混合悬浮来达到减振的目的，属于精密驱动领域。超声波换能器圆盘与超声波换能器固定连接。工作平台与气浮支承固定连接，平台底座与气浮支承固定连接，气浮支承上分布着轴向的节流孔和压力腔。平台底座上分布着径向的节流孔和压力腔。气浮支承放置在超声波换能器圆盘上。这样整个连接好的气浮支承就被超声波悬浮和气浮共同悬浮起来。当混合悬浮时，超声波悬浮改善了气浮单独工作时的气旋现象和气锤振动。这种新型混合悬浮装置优点在于：易操作，结构简单，较单一气浮装置单独工作时有更高的悬浮刚度，减小了气浮装置自身存在的微小低频振动。

主权项：一种超声波悬浮和气浮的混合悬浮装置，是通过超声波近声场悬浮和气浮两种混合悬浮式方实现悬浮减振。该混合悬浮装置包括：工作平台(1)、进气孔(2)、气流道(3)、气浮支承(4)、平台底座(6)、超声波换能器圆盘(9)、超声波换能器(11)、仪器支架(14)、超声波信号发生器(15)、空气压缩机(16)。其特征在于：气浮支承(4)上表面与工作平台(1)固定连接，气浮支承(4)下表面与平台底座(6)固定连接。超声波换能器(11)与超声波换能器圆盘(9)固定连接。超声波换能器(11)和超声波信号发生器(15)相连。超声波换能器(11)与仪器支架(14)固定连接。气浮支承(4)放置在超声波换能器圆盘(9)上。空气压缩机(16)出来的气体经过过滤后进入到进气口(2)。