具有多个均布向下的排气管道的直拉式硅单晶炉热场,申请号CN201120234885.3-传众专利搜索

具有多个均布向下的排气管道的直拉式硅单晶炉热场

申请公布号：CN202202015U

申请号：CN201120234885.3

申请日期：2011.07.06

申请公布日期：2012.04.25

申请人：

浙江晶盛机电股份有限公司;杭州慧翔电液技术开发有限公司

发明人：曹建伟;傅林坚;石刚;叶欣;邱敏秀

分类号：C30B15/14(2006.01)I

主分类号：C30B15/14(2006.01)I

代理机构：

杭州中成专利事务所有限公司 33212

代理人：金祺

地址：312300 浙江省绍兴市上虞市经济技术开发区通江西路218号

摘要：本实用新型涉及直拉式硅单晶炉中的热场结构技术，旨在提供一种具有多个均布向下的排气管道的直拉式硅单晶炉热场。在热场底部的圆周上均匀分布至少3个用于排出废气的排气管道，每个排气管道均具备以下结构：由导气横管、导气竖管和石英管依次连接组成，导气横管和导气竖管为石墨件；导气横管与导气竖管呈90°直角相接，且以平面接触方式配合；导气竖管与石英管相互对接，且以环形凸台方式配合；石英管与炉底板的排气孔以环形凸台方式配合。本实用新型增大了排气管道通径，提高了排气效率；减少了氧化物在排气管内的堆积；避免了氧化物堆积在下保温盖表面；简化了排气管道的清扫操作，提高了生产效率。以上因素都有利于提高硅单晶生长的成晶率。

主权项：具有多个均布向下的排气管道的直拉式硅单晶炉热场，包括用于排出废气的排气管道；其特征在于，排气管道有至少3个，且在热场底部的圆周上均匀分布；每个排气管道均具备以下结构：由导气横管、导气竖管和石英管依次连接组成，导气横管和导气竖管为石墨件；导气横管与导气竖管呈90°直角相接，且以平面接触方式配合；导气竖管与石英管相互对接，且以环形凸台方式配合；石英管与炉底板的排气孔以环形凸台方式配合。