用于半导体加工之加热单元,申请号TW089116789-传众专利搜索

用于半导体加工之加热单元

申请公布号：TW496098

申请号：TW089116789

申请日期：2000.08.18

申请公布日期：2002.07.21

申请人：

发条股份有限公司

发明人：二口谷淳;真崎贵;宫地真也;石渡秀典

分类号：H05B3/44

主分类号：H05B3/44

代理人：恽轶群台北巿南京东路三段二四八号七楼;陈文郎台北巿南京东路三段二四八号七楼

地址：日本

摘要：一上金属基底被设置在下金属基底上，而电阻加热构件插置在上、下基底之间，以便对至少一个相对表面产生塑性变形直到对应的表面符合加热构件的外部轮廓，并且下与上基底之相对表面与电阻加热构件藉由以硬焊、焊接或扩散接合组成之金属结合被大致完全地互相接合。因外金属接合提供有利的热传导，因而可以改善热效率并避免局部加热，可能得到迅速的温度上升与均匀加热。因为基底由两部分组成，因此供基底用之材料可以选自包括那些能够承受高温与腐蚀材料之具有广大范围的材料。

主权项：1.一种加热单元,系包含:一下金属基底;一紧密地置放在该下基底之一上表面上之上金属基底;以及一电阻加热构件,其系插置在该等下与上基底之相对表面之间被界定之一凹槽中;其中该等下与上基底之该等相对表面,以及该电阻加热构件藉由金属接合而被大致完全地相互接合。2.如申请专利范围第1项之加热单元,其中该金属接合由选自以硬焊、焊接与扩散接合所组成之群组之一项组成。3.如申请专利范围第1项之加热单元,其中该电阻加热构件包含一包括金属护套管之护套加热器、收纳在该护套管中之电阻加热线材、以及被填满在该护套管中以便将该电阻加热线材与该护套管电气地绝缘之绝缘材料。4.如申请专利范围第3项之加热单元,其中该金属护套管由选自以铝、铝合金、铜、铜合金、不锈钢、铬镍铁合金、钛、钛合金所组成之群组的一种材料组成。5.如申请专利范围第1项之加热单元,其中该等上与下基底各由选自以铝、铝合金、铜、铜合金、不锈钢、以镍为主之合金、钛、钛合金所组成之群组的一种材料组成。6.一种制造加热单元之方法,系包含下列步骤:制备一具有平面顶部表面之下金属基座;制备具有一平面底部表面之上金属基座;将该上基座置放在该下基座上方,而一电阻加热构件系被插置在该等下与上基座之该等顶部与底部表面之间,以便对于该等下与上基座之该等顶部与底部表面的至少一者造成塑性变形,直到对应的表面与该加热构件之一外部轮廓一致,并使该等下与上基座之该等相对表面,与该电阻加热单元藉由一金属接合被大致完全地相互地接合。7.如申请专利范围第6项之方法,其中该金属接合由选自一以硬焊、焊接、及扩散接合所组成之群组的一项组成。8.如申请专利范围第6项之方法,其中该电阻加热构件包含一包括金属护套管之护套加热器、收纳在该护套管中之电阻加热线材、以及被填满在该护套管中以便将该电阻加热线材与该护套管电气地绝缘之绝缘材料。9.如申请专利范围第8项之方法,其中该金属护套管由选自以铝、铝合金、铜、铜合金、不锈钢、铬镍铁合金、钛、钛合金所组成之群组的一种材料组成。10.如申请专利范围第6项之方法,其中该等上与下基底各由选自以铝、铝合金、铜、铜合金、不锈钢、以镍为主之合金、钛、钛合金所组成之群组的一种材料组成。11.如申请专利范围第6项之方法,其中该下基底之该顶部表面与该上基底之该底部表面的至少一者被设置有一在该塑性变形前用以大致紧密地收纳该电阻加热构件之凹槽。12.如申请专利范围第6项之方法,其中仅有该下基底之该顶部表面与该上基底之该底部表面的其中一者设置有一凹槽,该凹槽系用以在该塑性变形前仅大致紧密地收纳该护套加热器之一部分的横截面,使得让该加热构件之剩下的横截面部分暴露出来,而其他表面适于藉由塑性变形而与该加热构件之剩下的横截面部分一致,藉此在该等下与上基底之间达到一紧密的接触。图式简单说明:第1图为显示具体表现本发明之接合加热单元结构的截面图;第2图为第1图之电阻加热构件之放大图;第3图为相似于第2图显示在制造加热单元中之中间阶段图;第4图为相似于第3图显示本发明之交替实施例之图;第5图为传统铸造加热单元之截面图;第6图为传统夹持加热单元之截面图;第7图为传统焊接加热单元之截面图;