一种应用于太阳能电池的优化钝化方法,申请号CN201010570347.1-传众专利搜索

一种应用于太阳能电池的优化钝化方法

申请公布号：CN102185010A

申请号：CN201010570347.1

申请日期：2010.12.02

申请公布日期：2011.09.14

申请人：

江阴浚鑫科技有限公司

发明人：孙伟;罗军;孙林杰;韩少鹏;麻晓园

分类号：H01L31/18(2006.01)I

主分类号：H01L31/18(2006.01)I

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：逯长明

地址：214443 江苏省江阴市申港镇镇澄路1011号

摘要：本发明实施例公开了一种应用于太阳能电池的优化钝化方法，包括：将插有硅片的石墨框进行预加热；将进行过预加热的石墨框进入工艺腔，工艺腔只通入氨气；往所述工艺腔同时通入氨气和硅烷；石墨框进冷却腔进行冷却；将石墨框从冷却腔出，卸片。本发明实施例提供的优化钝化方法，在常规工艺的沉积步骤之前进行氨气的预沉积，使得氨气能够很好地覆盖样品，从而能够充分发挥H的体钝化功能，进而提高太阳能电池的转换效率。

主权项：一种应用于太阳能电池的优化钝化方法，其特征在于，包括：将插有硅片的石墨框进行预加热；将进行过预加热的石墨框进入工艺腔，工艺腔只通入氨气；往所述工艺腔同时通入氨气和硅烷；石墨框进冷却腔进行冷却；将石墨框从冷却腔出，卸片。