流量传感器及其制造方法以及流量传感器组件,申请号CN201010589428.6-传众专利搜索

流量传感器及其制造方法以及流量传感器组件

申请公布号：CN102162744A

申请号：CN201010589428.6

申请日期：2010.12.09

申请公布日期：2011.08.24

申请人：

日立汽车系统株式会社

发明人：河野务;冈本裕树;森野毅;半泽惠二

分类号：G01F1/56(2006.01)I;G01F15/14(2006.01)I;H01L23/31(2006.01)I;H01L21/56(2006.01)I

主分类号：G01F1/56(2006.01)I

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：张敬强;武也平

地址：日本茨城县

摘要：本发明涉及流量传感器及其制造方法及流量传感器组件，提供用树脂封固半导体元件的一部分与电气控制回路表面的流量传感器的结构。使用如下空气流量传感器的结构，具备：半导体元件，其形成有空气流量检测部和流量孔板；以及基板或引线框，其配置有用于控制半导体元件的电气控制回路部，在使空气流量检测部露出的状态下，包含半导体元件的一部分表面在内，电气控制回路部的表面用树脂覆盖。提供树脂模型、基板、预模制的预模制部件等的面在不与半导体元件的和空气流量检测部分的设置面正交的三个面连续接触的状态下，包围半导体元件的流量传感器的结构，或通过弹簧的变形或弹性体薄膜在壁厚方向的变形而能够吸收半导体元件的尺寸偏差的制造方法。

主权项：一种流量传感器，其特征在于，具备：半导体元件，其形成有空气流量检测部和流量孔板；以及基板，其在一方配置有带有阶梯的开口部、在另一方配置有用于控制上述半导体元件的电气控制回路部，上述半导体元件装载于设置有上述开口部的阶梯部，在使上述空气流量检测部露出的状态下，包含上述半导体元件的一部分表面在内，上述电气控制回路部的表面用树脂覆盖。