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COMPUTER-IMPLEMENTED METHODS, COMPUTER-READABLE MEDIA, AND SYSTEMS FOR CLASSIFYING DEFECTS DETECTED IN A MEMORY DEVICE AREA ON A WAFER

申请公布号:US2011187848(A1)

申请号:US200913056623

申请日期:2009.07.28

申请公布日期:2011.08.04

申请人:
KLA-TENCOR CORPORATION

发明人:CHOI SUNYONG;PAE YEONHO;CHANG ELLIS

分类号:H04N7/18;G06K9/00

主分类号:H04N7/18

摘要:Computer-implemented methods, computer-readable media, and systems for classifying defects detected in a memory device area on a wafer are provided.

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