真空磁控溅射镀膜机,申请号CN201020539485.9-传众专利搜索

真空磁控溅射镀膜机

申请公布号：CN201793725U

申请号：CN201020539485.9

申请日期：2010.09.17

申请公布日期：2011.04.13

申请人：

温州市佳能真空电镀设备科技有限公司

发明人：林锡强;陈孝田

分类号：C23C14/35(2006.01)I

主分类号：C23C14/35(2006.01)I

地址：325000 浙江省温州市瓯海经济开发区西经一路5号1-2层

摘要：本实用新型涉及一种真空磁控溅射镀膜机，包括真空抽气系统、真空室、真空室门、设置在真空室中的工件转架以及设置在真空室体上的磁控溅射装置，磁控溅射装置包括与真空室体固定连接的磁控靶法兰、与磁控靶法兰固定连接并置于真空室中的铁轭、磁铁、磁控靶阴极板和靶材，还包括冷水套、进水道座和出水道座，进水道座和出水道座与磁控靶法兰固定连接，冷水套固设在进水道座和出水道座的里端，铁轭、磁铁、磁控靶阴极板、靶材依次固定在冷水套上，在冷水套和磁控靶阴极板之间构成冷却水通道。其有益的技术效果是：冷却水通道对靶材和磁铁进行冷却，具有冷却效果好的优点，进而保证镀膜质量。

主权项：真空磁控溅射镀膜机，包括真空抽气系统、真空室、真空室门、设置在真空室中的工件转架以及设置在真空室体上的磁控溅射装置，磁控溅射装置包括与真空室体固定连接的磁控靶法兰、与磁控靶法兰固定连接并置于真空室中的铁轭、磁铁、磁控靶阴极板、靶材，其特征在于：磁控溅射装置还包括冷水套、进水道座和出水道座，进水道座和出水道座与磁控靶法兰固定连接，冷水套固设在进水道座和出水道座的里端，铁轭、磁铁、磁控靶阴极板、靶材依次固定在冷水套上，在冷水套和磁控靶阴极板之间构成冷却水通道。