用于制造石英膜的设备,申请号CN200510119147.3-传众专利搜索

用于制造石英膜的设备

申请公布号：CN1807295B

申请号：CN200510119147.3

申请日期：2005.12.24

申请公布日期：2010.11.03

申请人：

慧萌高新科技有限公司

发明人：高桥直行;中村高远;野中智;久保义德;神力洋一;玉贯胜美

分类号：H01L21/31(2006.01)I

主分类号：H01L21/31(2006.01)I

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：杨松龄

地址：日本东京都

摘要：用于制造石英膜的设备，包括反应容器、基板保持器、第一气体入口管和第二气体入口管，该反应容器由石英制成并设置有气体出口，该基板保持器设置在该反应容器中(基板保持器可选地放置在屏蔽缸体中，该屏蔽缸体沿着反应容器的内表面设置在反应容器中，其中屏蔽缸体具有一内表面，该内表面由对气态氧化硅不活泼的材料制成)，该第一气体入口管通过其外侧端连接到盛有硅醇盐源的容器上，并具有面对基板或平板的内侧端，该基板将固定到基板保持器上，该平板间隔一空间环绕基板，该第二气体入口管通过其外侧端连接到盛有含氧气源的容器上，并具有面对基板或平板的内侧端，该基板将固定到基板保持器上，该平板间隔一空间环绕基板，该空间小于基板和第一气体入口管的内侧端之间的空间。

主权项：用于制造石英膜的设备，包括反应容器、基板保持器、第一气体入口管和第二气体入口管，该反应容器由石英制成并设置有气体出口，该基板保持器设置在该反应容器中，该第一气体入口管通过其外侧端连接到盛有硅醇盐源的容器上，第一气体入口管并具有面对基板或平板的内侧端，该基板将固定到基板保持器上，该平板间隔一空间环绕基板，该第二气体入口管通过其外侧端连接到盛有含氧气源的容器上，第二气体入口管并具有面对基板或平板的内侧端，该基板将固定到基板保持器上，该平板间隔一空间环绕基板，该空间小于基板和第一气体入口管的内侧端之间的空间。