SEMICONDUCTOR DEVICE AND ASSOCIATED METHODS OF MANUFACTURE

申请公布号：KR20100101450(A)

申请号：KR20090019950

申请日期：2009.03.09

申请公布日期：2010.09.17

申请人：

SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.

发明人：KIM, SUN JUNG;LEE, JONG CHEOL;KOO, BON YOUNG;HWANG, WAN SIK;LEE, JOON GON;KIM, JUNG HYEON

分类号：H01L21/336

主分类号：H01L21/336

摘要：PURPOSE: A semiconductor device and a method of manufacturing method are provided to implement a semiconductor device having high reliable metal oxide nitride film. CONSTITUTION: A metal nitride layer and a metal oxide layer are formed in on a semiconductor substrate. A metal oxide nitride film(128) is formed on a substrate having a metal nitride layer and a metal oxide layer through a heat treatment process. The metal oxide nitride film is reacted with the metal nitride layer, the metal oxide layer, and a second metal nitride layer.

Verzinnungsverfashren fuer Kupferdraht

Spinn- oder Zwirnmaschine mit durch biegsame Wellen einzeln angetriebenen und stillsetzbaren Spindeln

Procédé pour préparer des compositions élastiques tenaces

Nez de voûte de foyer

Fumoir

Perfectionnements au frisage ou à l'ondulation des matières textiles fibreuses

Interrupteur automatique à relai thermique

Manufacture of artificial filaments, threads, films, fabrics, and the like

Humidifier

Mono-n-alkanol derivative of aromatic di-amines and poly-amines

Printing device

Refrigerating apparatus

Procédé pour la préparation de compositions poreuses

Procédé et dispositif permettant, dans un poste de t. s. f., de réaliser la commande unique sans inverseur ou commutateur de circuit et de réaliser l'accord sur une gamme entre 1.800 et 125 kc

Perfectionnement aux mécaniques d'armures et mécaniques jacquard

Hélice à pas variable réglable en cours de vol

Perfectionnements aux pendulettes à cadrans multiples

Procédé de construction par éléments <<standard>>, éléments pour la mise en pratique de ce procédé, et ouvrages ainsi construits

Improvements relating to doors and other parts of vehicle bodies

Combined garden and lawn tool