Particle beam system

申请公布号：EP2216798(A2)

申请号：EP20100001335

申请日期：2010.02.09

申请公布日期：2010.08.11

申请人：

CARL ZEISS NTS GMBH

发明人：MANTZ, HUBERT;ARNOLD, RAINER;ALBIEZ, MICHAEL

分类号：H01J37/28;H01J37/05;H01J37/22;H01J37/244;H01J37/256

主分类号：H01J37/28

摘要：<p>A particle beam system comprises a particle beam source 5 for generating a primary particle beam 13, an objective lens 19 for focusing the primary particle beam 13 in an object plane 23; a particle detector 17; and an X-ray detector 47 arranged between the objective lens and the object plane. The X-ray detector comprises plural semiconductor detectors, each having a detection surface 51 oriented towards the object plane. A membrane is disposed between the object plane and the detection surface of the semiconductor detector, wherein different semiconductor detectors have different membranes located in front, the different membranes differing with respect to a secondary electron transmittance.</p>

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