EINSTUFIGE PENDEO- ODER LATERALE EPITAXIE VON GRUPPE III-NITRIDSCHICHTEN

申请公布号：AT458268(T)

申请号：AT20000970767T

申请日期：2000.10.11

申请公布日期：2010.03.15

申请人：

CREE, INC.

发明人：KONG, HUA-SHUANG;EDMOND, JOHN;HABERERN, KEVIN;EMERSON, DAVID

分类号：H01L21/20;H01L21/205;H01S5/02

主分类号：H01L21/20

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