检查装置以及检查方法
申请公布号:CN101506616A
申请号:CN200780029830.5
申请日期:2007.08.10
申请公布日期:2009.08.12
发明人:角田佳久;中岛努
分类号:G01B11/24(2006.01)I;G01N21/956(2006.01)I;H05K3/34(2006.01)I
主分类号:G01B11/24(2006.01)I
代理人:梁晓广;关兆辉
地址:日本静冈县
摘要:本发明提供能够检测糊状焊料内部的状态的检查装置以及检查方法。其中,照明装置(5),对涂敷有糊状焊料的基板照射规定强度的红外光。摄像装置(6),拍摄被上述红外光照射的基板。控制装置(9)的主控制部(95),从摄像装置(6)所获取的图像的图像数据中,根据被基板反射的红外光的强度分布,能够检测糊状焊料的截面形状。另外,通过去除部(95c),能够去除来自糊状焊料的表面的反射光,因而能够更加准确地检测焊料的截面形状。
主权项:1. 一种检查装置,其特征在于,包括:照明装置,对涂敷有糊状焊料的基板照射规定强度的红外光;图像获取装置,具有拍摄被所述红外光照射的所述基板的摄像装置,获取表示被所述基板反射的红外光的强度分布的图像;检测装置,根据所述图像,检测所述糊状焊料的截面形状或者三维形状。
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