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COMPOSITION FOR THE REMOVAL OF SIDEWALL RESIDUES

申请公布号:US2008280803(A1)

申请号:US20080133532

申请日期:2008.06.05

申请公布日期:2008.11.13

申请人:
MELLIES RAIMUND;BOERNER MARC;ARNOLD LUCIA;BARKO ANDREA;RHEIN RUDOLF

发明人:MELLIES RAIMUND;BOERNER MARC;ARNOLD LUCIA;BARKO ANDREA;RHEIN RUDOLF

分类号:C11D1/755;H01L21/3065;C11D3/39;C11D7/08;C11D11/00;G03F7/42;H01L21/02;H01L21/304;H01L21/3213;H01L21/768;H01L25/00

主分类号:C11D1/755

摘要:The present invention relates to a composition for the removal of so-called sidewall residues from metal surfaces, in particular from aluminium or aluminium-containing surfaces, during the production of semiconductor elements.

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