Spektroskopie-System

申请公布号：DE102006050959(A1)

申请号：DE200610050959

申请日期：2006.10.28

申请公布日期：2007.05.31

申请人：

WAFERMASTERS INC.

发明人：YOO, WOO SIK

分类号：G01J3/44

主分类号：G01J3/44

摘要：Systeme und Techniken für eine verbesserte Spektroskopie. Bei einigen Ausführungsformen kann ein mechanischer und/oder optischer Zoom-Mechanismus für Monochromator-Systeme bereitgestellt sein. Beispielsweise erlauben bewegliche Detektorsysteme das Positionieren eines Detektors bezüglich eines dispersiven Elements zum Erhalt einer ersten Auflösung. Die Detektorsysteme können dann das Positionieren des Detektors bezüglich eines dispersiven Elements zum Erhalt einer zweiten, verschiedenen Auflösung erlauben. Bei einigen Ausführungsformen kann Spektroskopie einer ersten Probenregion mittels einer Mehrzahl von Anregungswellenlängen durchgeführt werden. Multiple Detektoren können positioniert werden zum Empfangen von Licht, welches verschiedenen Wellenlängen aus der Mehrzahl von Wellenlängen zugeordnet ist.

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