APPARATUS FOR INSPECTION DEFECTS ON SUBSTRATE AND METHOD FOR INSPECTING SUBSTRATE USING THE SAME

申请公布号：KR100697042(B1)

申请号：KR20050029048

申请日期：2005.04.07

申请公布日期：2007.03.20

分类号：G02F1/13

主分类号：G02F1/13

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