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Method and apparatus for safe operation of vacuum chambers

申请公布号:US3185565(A)

申请号:US19620238222

申请日期:1962.11.16

申请公布日期:1965.05.25

申请人:
PENNSALT CHEMICALS CORPORATION

发明人:TAYLOR KENDRICK C.

分类号:C21C7/10;F27B5/04

主分类号:C21C7/10

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