液体处理装置,申请号CN01132819.3-传众专利搜索

液体处理装置

申请公布号：CN1290161C

申请号：CN01132819.3

申请日期：2001.06.30

申请公布日期：2006.12.13

申请人：

东京毅力科创株式会社

发明人：上川裕二

分类号：H01L21/304(2006.01);B08B3/08(2006.01)

主分类号：H01L21/304(2006.01)

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：温大鹏

地址：日本东京都

摘要：一种液体处理装置，具有：配有保持基板的保持机构和使保持机构旋转的旋转装置的基板旋转装置；为使保持在保持机构上的基板基本上垂直或基本上水平、变换基板旋转装置的姿势的姿势变换机构；对保持在保持机构上的基板进行规定的液体处理的处理腔室；为把保持机构容纳在处理腔室内、相对地调节处理腔室与保持机构的位置的位置调节机构。从基本上水平的容纳基板的容器内取出基板将其保持在保持机构上，使保持基板的保持机构变换姿势使基板基本上处于垂直状态，一面旋转基板一面向基板供应处理液体进行液体处理。

主权项：1、液体处理装置，在向基板供应处理液体进行液体处理的液体处理装置中，配备有：具有保持基板的保持机构及使前述保持机构旋转的电机的基板旋转装置；对垂直地保持在前述保持机构上的基板进行液体处理的处理腔室，配置于前述处理腔室的外部，为了使保持在前述保持机构上的基板垂直或水平，在前述处理腔室外变换前述基板旋转装置的姿势的姿势变换机构；为将前述保持机构容纳在前述处理腔室内相对地调节前述处理腔室及前述基板旋转装置的位置的位置调节机构。