Apparatus and methods to enhance thermal energy transfer in IC handler systems

申请公布号：US6978541(B1)

申请号：US20020262998

申请日期：2002.10.01

申请公布日期：2005.12.27

申请人：

XILINX, INC.

发明人：FELTNER THOMAS A.;MARLEY JOHN C.

分类号：(IPC1-7):H01L3/34

主分类号：(IPC1-7):H01L3/34

摘要：Disclosed is apparatus to enhance thermal energy transfer from a heater to a DUT in IC handler systems. The pick-up head of an IC handler system is made of metal blocks in maximal thermal contact, and further includes an electrically resistive and thermally conductive layer. The electrically resistive layer provides ESD protection to the DUT. The preferred apparatus uses a collapsible billows suction cup to secure, pick-up, and align DUTs.

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