MICRO THREE-DIMENSIONAL STRUCTURE MANIPULATOR

申请公布号：JP2004345009(A)

申请号：JP20030143099

申请日期：2003.05.21

申请公布日期：2004.12.09

申请人：

JAPAN SCIENCE & TECHNOLOGY AGENCY

发明人：MATSUI SHINJI;KOMETANI REO

分类号：B25J7/00;B81B3/00;B81C99/00;(IPC1-7):B81B3/00;B81C5/00

主分类号：B25J7/00

摘要：PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a micro three-dimensional structure manipulator which prepares a micro three-dimensional structure. SOLUTION: Three-dimensional model data of a micro three-dimensional structure designed by utilizing an electronic computer is divided in a height direction. Based on discrete drawing data of a laminated structure obtained by calculating the cross sectional shape, irradiation position and irradiation time of beam are determined, and focused ion beam is controlled. Pillars 31 and 32 formed on a substrate therefore are operated by repulsion between electric charges. COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

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