具有沟槽栅结构的半导体器件及其制造方法

申请公布号：CN1527369A

申请号：CN200410007391.6

申请日期：2004.03.02

申请公布日期：2004.09.08

申请人：

株式会社电装

发明人：青木孝明

分类号：H01L21/336;H01L29/78;H01L29/744;H01L29/749

主分类号：H01L21/336

代理机构：

永新专利商标代理有限公司

代理人：韩宏

地址：日本爱知县

摘要：一种用于制造半导体器件(100)的方法，包括步骤：在衬底(3)中形成沟槽(4)；通过该绝缘膜(5)，在该沟槽(4)中形成导电膜(6)；以及在形成该导电膜(6)的步骤后，以退火温度使该衬底(3)退火，以便以退火温度去除该绝缘膜(5)中的损坏。用上述方法制造的器件(100)具有高可靠性。

主权项：1、一种用于制造半导体器件(100)的方法，包括步骤：在衬底(3)中形成具有内壁的沟槽(4)；在所述沟槽(4)的内壁上形成绝缘膜(5)；通过所述绝缘膜(5)，在所述沟槽(4)中形成导电膜(6)；以及在形成所述导电膜(6)的步骤后，以一退火温度使所述衬底(3)退火，以便以该退火温度去除所述绝缘膜(5)中的损坏。

VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER KUNSTSTOFFKAPSELUNG FUER HALBLEITERBAUELEMENTE AUF METALLISCHEN SYSTEMTRAEGERN

CONTROL ROD DRIVE MECHANISM

KUEHLVORRICHTUNG FUER HEISS-GASE IN LEITUNGEN

ANZEIGEVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM SICHTBARMACHEN VON PUNKTMATRIXBILDERN

HEIZUNGSKESSEL

Lead forming machine for printed circuit - has two sets of adjustable knives for bending and cutting component leads

Threaded joint application control - with torque and revolution pick=ups feeding microprocessor

Shaft to hub fixture for gear ring - has inner and outer rings with bolted conical mating surfaces giving clamping action

Magazine for automatic assembly of electronic systems - has open channel support profile with lateral guides for electronic components

Dimensionally stable inflatable boats, rafts, etc. - are composed of tubular elements of textile fabric joined together by interwoven strips

GERAET UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN WENIGSTENS EINES RADIOGRAMMS EINES EINE STRAHLUNG DIFFERENTIELL ABSORBIERENDEN OBJEKTS

VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER LOESUNG VON GEREINIGTEM AMMONIUMMOLYBDAT

VERFAHREN ZUM REINIGEN VON OBERFLAECHEN VON KUPFERLEGIERUNGEN

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GLAETTEINRICHTUNG FUER FADENGEHEFTETE UND FADENGESIEGELTE BUCHRUECKEN

GLEISUMBAUZUG MIT PORTALFAHRZEUGEN FUER SCHWELLENTRANSPORT

EINRICHTUNG ZUM BETRIEB VON TRANSPORTFAHRZEUGEN AUF EINEM GLEISFAHRZEUGVERBAND

Schablone,insbesondere Schriftschablone

WERKSTUECKHANDHABUNGSEINRICHTUNG

GEKAPSELTE WINKELMESSEINRICHTUNG