申请公布号:JP2004512692(A)
申请号:JP20020538468
申请日期:2001.10.01
申请公布日期:2004.04.22
分类号:B65G49/07;H01L21/00;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/68
主分类号:B65G49/07
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