芯片表面检测装置
申请公布号:CN2563596Y
申请号:CN02247521.4
申请日期:2002.08.20
申请公布日期:2003.07.30
发明人:杜拉达
分类号:G02F1/13
主分类号:G02F1/13
代理人:朱黎光
地址:台湾省台北市中山区天祥路59号7楼之一
摘要:一种芯片表面检测装置,其特征是主要包括有灯源切换盒、监视器、旋转调整芯片角度的控制板及放置芯片的旋转架;该灯源切换盒内是设有各具多支的两种不同波长的荧光灯,一种荧光灯是设成固定,且连接预热电路,另一种则与旋转臂连接,形成可伸缩收藏的活动式荧光灯,且盒面设有一扩散板,盒内设有中间隔板,板上设有供活动式荧光灯置入时遮蔽的活动栅门;由此,使制成的芯片放置于旋转架上,以旋转调整芯片角度,使芯片可受两种不同灯源照射检测,同时通过监视器的转播,令检测人员不需等待灯源预热时间,而方便、快速检测芯片表面质量,而具实用性。
主权项:1、一种芯片表面检测装置,其特征是:主要包括有灯源切换盒、监视器、旋转调整芯片角度的控制板及放置芯片的旋转架;该灯源切换盒内是设有各具多支的两种不同波长的萤光灯,一种萤光灯是设成固定,且连接预热电路,另一种则与旋转臂连接,形成可伸缩收藏的活动式萤光灯,且盒面设有一扩散板,盒内设有中间隔板,板上设有供活动式萤光灯置入时遮蔽的活动栅门。
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