Anodic bonding process with light irradiation

申请公布号：EP0539741(B1)

申请号：EP19920116628

申请日期：1992.09.29

申请公布日期：2003.01.15

申请人：

CANON KABUSHIKI KAISHA

发明人：AKAIKE, MASATAKE;YAGI, TAKAYUKI

分类号：C04B37/04;H01L21/00;H01L21/20;H01L21/58

主分类号：C04B37/04

摘要：Disclosed is a process and an apparatus for anodic bonding, in which Si substrate (S) and glass substrate (G) are contacted each other, a voltage is applied therebetween, and then light (Ld) is irradiated on a contact portion thereof, whereby the Si substrate and the glass substrate are bonded at a lower temperature than transition temperature of the glass substrate. <IMAGE>

Improvements in or relating to grinding or abrading machines

Improvements in discharge nozzles for lubricators

Improvements in knitting machines

Improved hook or like device for use in the fastening of wearingapparel

Прибор для разметки архимедовой спирали на заготовках эксцентриков к автоматам

Газоанализатор

Гидравлический или пневматический домкрат для постановки повозок на рельсы

Вилка с приспособлением для обслуживания общественных столовых

Воздушный фильтр для тракторных автомобильных двигателей

Приспособление для отливки пломб

Improvements in or relating to gasfilled triodes, tetrodes, pentodes and the like

MEJORAS INTRODUCIDAS EN LA PATENTE PRINCIPAL

PERFECCIONAMIENTOS INTRODUCIDOS EN EL OBJETO DE LA PATENTE PRINCIPAL

MEJORAS INTRODUCIDAS EN LA PATENTE PRINCIPAL

UNA ESPOLETA DE SENSIBILIDAD GRANDE PARA PROYECTILES DE ARTILLERiA Y DE AVIACIoN U OTRAS APLICACIONES ANáLOGAS

MEJORAS EN CONEXIONES OSCILANTES

Прибор для психотехнических испытаний

Плющильно-обдирочная машина для стеблей лубяных растений

Способ изготовления искусственной олифы

Устройство для электрогидротерапии