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申请公布号:JP3360300(B2)

申请号:JP20000529752

申请日期:1999.01.21

申请公布日期:2002.12.24

分类号:H01L21/28;H01L21/304;H01L21/316;H01L21/762;H01L29/51;(IPC1-7):H01L21/316

主分类号:H01L21/28

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