SPUTTERING TARGET AND BACKING PLATE MATERIAL

申请公布号：JP2001295040(A)

申请号：JP20000112409

申请日期：2000.04.13

申请公布日期：2001.10.26

申请人：

TOSHIBA CORP

发明人：KOSAKA YASUO;ISHIGAMI TAKASHI;FUJIOKA NAOMI;WATANABE TAKASHI;SUZUKI YUKINOBU

分类号：C23C14/34;H01L21/203;H01L21/285;(IPC1-7):C23C14/34

主分类号：C23C14/34

摘要：PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a sputtering target, with which a backing plate can be integrally joined to a target material at high joining strength without coarsening the crystal grains of the target and the amount of particles generated during sputtering can be reduced. SOLUTION: In the sputtering target 1, a backing plate material 4 consisting of a plurality of metallic layers 2 and 3 is integrally joined to a target material 5 by means of diffusion joining or welding.

MAAIMACHINE MET TEN MINSTE TWEE AFZONDERLIJKE MAAIBALKEN.

SAMENSTELLING OMVATTENDE EEN ACRYLONITRIL-BUTADIEENSTYREENTERPOLYMEER, EEN BEKLEDINGSLAAG UIT EEN GEHALOGENEERD POLYMEER EN EEN VULSTOF TER BESCHERMING TEGEN UV-STRALING.

INNRETNING OG FREMGANGSMAATE FOR DOSERING AV ET VAESKEPRODUKT

FREMGANGSMAATE OG INNRETNING FOR OVER STORE FLATER AA INNFOERE GASS I VAESKER I FORM AV SMAA BOBLER

PROCESS FOR PROCESSING AND TREATING RAW MATERIALS OF MARINE PRODUCTS

ARTICULOS Y METODOS PARA PROTEGER SUBSTRATOS

VARMEISOLERENDE FORMLEGEME

ANVENDELSE AV EN VANDIG EMULSJON FOR FREMSTILLING AV ET METTET PAPIRPRODUKT

FREMGANGSMAATE FOR FREMSTILLING AV EN KOEKSTRUDERT TERMOPLASTISK MULTILAG, KRYMPEFILM

GLYCEROLOXIDASE EN WERKWIJZE TER BEREIDING DAARVAN, ALSMEDE EEN METHODE VOOR DE KWANTITATIEVE BEPALING VAN GLYCEROL.

MET KERAMISCH MATERIAAL BEKLEDE LUCHTAFDICHTING VOOR EEN GASTURBINEMOTOR.

INRICHTING VOOR HET TEN BEHOEVE VAN EEN ANTENNEBELASTING OPWEKKEN VAN SALVO'S VAN HOOGFREQUENTE PULSEN MET VOORAFBEPAALDE OMHULLENDE VORM.

Method and device for achieving constant hook spacing

Device for burring non-round holes with a rotary wire loop

AMONYUM NITRADIN KONSANTRE MAHLüLLERINI üRETMEK ICIN USUL.

WAY AND DEVICE FOR CLOSING OF A FOLD

CARRELLO AD INNESTO AUTOMATICO PER PORTE SCORREVOLI

MEZZI PER ESEGUIRE IL POSIZIONAMENTO PRECISO DI PEZZI, IN PARTICOLARE DI SERRAMENTI, IN MACCHINE ANUBATRICI

DISPOSITIVO DI APPOGGIO A CALOTTA SFERICA, ANTISCALOTTAMENTO PARTICOLARMENTE STUDIATO PER VINCOLARE PONTI, VIADOTTI, EDIFICI E SIMILI.

SEDIA PARTICOLARE TOTALMENTE APPIATTITA.