CARRIER DEVICE AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT,申请号KR19990008450-传众专利搜索

CARRIER DEVICE AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT

申请公布号：KR100304344(B1)

申请号：KR19990008450

申请日期：1999.03.13

申请公布日期：2001.09.24

申请人：

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发明人：마까라지히로;가도와끼데쓰지

分类号：B23P19/00;B65G49/07;H01L21/50;H01L21/52;H01L21/677;H05K13/02

主分类号：B23P19/00

摘要：<p>본 발명은 반송 속도의 고속화를 도모할 수 있는 반송 장치 및 반도체 제조 장치를 제공한다. 와이어(19a)는 전후 방향으로 운동되고, 플레이트(25)는 상하 좌우 방향으로 운동된다. 아암(36)은 플레이트(25)에 대해 전후 방향으로 이동 가능하게 연결된다. 픽업 헤드는 아암(36)과 함께 이동하여 칩을 반송한다. 와이어(19a)의 전후 방향의 동력은 전달 기구(37)로 아암(36)에 전달된다. 와이어(19a)에 대한 아암(36)의 변위는 전달 기구(37)로 상하 좌우 방향으로 허용된다.</p>