Verfahren zum Herstellen von Planartransistoren

申请公布号：DE1298193(B)

申请号：DE1965I029126

申请日期：1965.10.05

申请公布日期：1969.06.26

申请人：

IBM DEUTSCHLAND INTERNATIONALE BUERO-MASCHINEN GMBH

发明人：MUENCH VON;KURT DR. WALDEMAR;HOFFMEISTER;WOLFGANG DR.

分类号：H01L21/00;H01L21/033;H01L21/223;H01L21/225

主分类号：H01L21/00

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