Process chamber

申请公布号：EP0989594(A2)

申请号：EP19990810788

申请日期：1999.09.02

申请公布日期：2000.03.29

申请人：

LEVITRONIX LLC

发明人：SCHOEB, RETO, DR.

分类号：H01L21/00;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/00

主分类号：H01L21/00

摘要：<p>In einer Prozesskammer (1), in welcher verschiedene Bearbeitungsschritte bei der Halbleiterfertigung ausgeführt werden können, ist ein rotatorisch antreibbarer Drehkopf (3) angeordnet, welcher als Halter für ein im wesentlichen scheibenförmiges zu bearbeitendes Objekt (W) dient, z.B. für einen Wafer. Ferner ist in der Prozesskammer (1) mindestens ein Applikator (50,51,52,53) vorgesehen zum Bereitstellen eines Mediums, welches auf das zu bearbeitende Objekt (W) einwirkt. Radial um den Drehkopf (3) herum angeordnet sind Mittel (4) zur Lagerung und zum Antrieb des Drehkopfs (3) vorgesehen. <IMAGE></p>

Préparations cosmétiques

Composition détergente essentiellement à base d'alkylbenzène sullonate alcalin, d'alkylsulfate alcalin et d'un composé d'ammonium quaternaire amphotérique

Dérivés de l'indol et leur procédé de fabrication

Procédé pour la fabrication de plaques filtrantes

Moteur à combustion interne à piston rotatif, en particulier suivant une réalisation trochoïdale

Composition d'encre d'imprimerie

Perfectionnements aux stratifiés à surface métallisée et aux procédés pour leur préparation

Dispositif pour trier par grosseurs des fruits ou légumes obtenus en agriculture ou en horticulture

Procédé et dispositif pour fabriquer des éléments combustibles ou des éléments fertiles pour des réacteurs nucléaires

Montage pour lampe de signalisation

Nouvelle disposition de contacts électriques actionnés par des champs magnétiques

étui d'emballage pour fruits

Perfectionnements aux récepteurs de télévision en couleur

Dispositif de percussion avec amortissement

Mélange de sable durcissant à froid pour la réalisation de moules de fonderie

Pied de meuble à deux branches croisées

Appareil électrique de contrôle

Procédé pour l'avancement d'un soutènement hydraulique déplaçable pour exploitations minières souterraines et dispositif pour sa mise en oeuvre

Douille pour cartouches propulsives d'appareils utilisés à des fins industrielles

Récepteur pour installations de commande centrale