PRODUCTION SYSTEM OF SEMICONDUCTOR AND ETCHING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE

申请公布号：JPH11354489(A)

申请号：JP19980157096

申请日期：1998.06.05

申请公布日期：1999.12.24

申请人：

TOSHIBA CORP

发明人：MIYAZAKI KUNIHIRO

分类号：H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306

主分类号：H01L21/306

Coletor seletivo para material reciclável

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