MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
申请公布号:JPH10209151(A)
申请号:JP19970007648
申请日期:1997.01.20
申请公布日期:1998.08.07
发明人:MIYOSHI YOSUKE
分类号:H01L29/73;C23C16/34;H01L21/314;H01L21/318;H01L21/331;H01L21/338;H01L29/205;H01L29/737;H01L29/778;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/318
主分类号:H01L29/73
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