申请公布号：JP2713409(B2)

申请号：JP19870323023

申请日期：1987.12.22

申请公布日期：1998.02.16

分类号：H01L27/08;H01L21/8238;H01L27/092;H01L27/12;H01L29/739;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786;H01L21/823

主分类号：H01L27/08

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