超高道密度伺服信息极坐标光刻系统、方法及设备,申请号CN96100312.X-传众专利搜索

超高道密度伺服信息极坐标光刻系统、方法及设备

申请公布号：CN1152137A

申请号：CN96100312.X

申请日期：1996.01.18

申请公布日期：1997.06.18

申请人：

华中理工大学

发明人：张江陵;倪浆铭;周功业;黄益森;贾连兴

分类号：G03F9/00

主分类号：G03F9/00

代理机构：

华中理工大学专利事务所

代理人：杨为国;戚昌文

地址：430074湖北省武汉市武昌珞瑜路1037号

摘要：一种超高道密度伺服信息极坐标光刻系统及设备，包括主轴回转、磁盘盘片定位夹持、闭环控制直线位置检测、快速与三套滚动导轨联合超高精度定位、光刻聚焦光路及调制、激光器调焦伺服控制、微机及接口控制等系统。本发明能生成磁记录所需要的各种复杂图形。是超大容量磁记录的技术，有亚微米级以至纳米级精度，集精密机械、动态检测、激光、光学、电子学、磁记录、自动控制、微机、软件等多种高难技术于一体，且结构简单、性能可靠。

主权项：1、一种超高道密度伺服信息极坐标光刻系统及设备，主要包括有：主轴回转系统、磁盘盘片定位夹持系统、超高精度定位系统、光刻聚焦光路及调制系统、激光器调焦伺服控制系统、工作平台隔振系统、微机及接口控制系统等部分，其特征在于，主轴回转系统与磁盘盘片定位夹持机构在同一轴线上，主轴回转系统设置在工作平台的下部，磁盘盘片定位夹持系统设置在工作平台的上部；所说的超高精度定位系统包括有闭环控制直线位置检测系统和快速与精定位三套滚动导轨联合驱动系统、光刻聚焦光路及调制系统、激光器调焦伺服控制系统均可设置在工作平台上；激光刻蚀头安装在靠推杆与空气压力气膜之间的作用而移动的空气静压导轨的滑台上。