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METHOD FOR DETERMINING NONUNIFORMITY OF DOPING SEMICONDUCTOR LAYERS ON INSULATING SUBSTRATES

申请公布号:RU2059324(C1)

申请号:SU19904829546

申请日期:1990.05.29

申请公布日期:1996.04.27

申请人:
KAZAKEVICH LEONID ALEKSANDROVICH;KUZNETSOV VITALIJ IVANOVICH;LUGAKOV PETR FEDOROVICH;TSIKUNOV ALEKSANDR VLADIMIROVICH

发明人:KAZAKEVICH LEONID ALEKSANDROVICH;KUZNETSOV VITALIJ IVANOVICH;LUGAKOV PETR FEDOROVICH;TSIKUNOV ALEKSANDR VLADIMIROVICH

分类号:H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66

主分类号:H01L21/66

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