Устройство для лазерного напыления и исследования тонких пленок,申请号RU19930041351U-传众专利搜索

Устройство для лазерного напыления и исследования тонких пленок

申请公布号：RU405(U1)

申请号：RU19930041351U

申请日期：1993.08.17

申请公布日期：1995.05.16

申请人：

Воронежский государственный университет

发明人：Кукуев В.И.;Домашевская Э.П.;Лесовой М.В.;Малыгин М.В.;Власов Д.А.;Томашпольский Ю.я.

分类号：C23C14/00

主分类号：C23C14/00

摘要：Устройство для лазерного напыления и исследования тонких пленок, содержащее герметичную рабочую камеру с измерителем параметров пленок, окно для подачи лучевой энергии, мишень и держатель подложки, установленный с возможностью возвратно-поступательного и вращательного движений, отличающееся тем, что герметичная рабочая камера снабжена дополнительной герметичной камерой, в которой размещены упомянутые мишень, держатель подложки выполненное окно для подачи лучевой энергии, при этом между рабочей и дополнительной камерами имеется отверстие, перекрываемое подвижной шторкой.