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CHANGING METHOD FOR WIRING AREA OF INTEGRAYED CIRCUIT

申请公布号:JPH06163692(A)

申请号:JP19920337887

申请日期:1992.11.26

申请公布日期:1994.06.10

申请人:
NEC CORP

发明人:KUMAGAI SATORU

分类号:H01L21/82;G06F17/50;(IPC1-7):H01L21/82

主分类号:H01L21/82

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