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申请公布号:JPH0633813(U)

申请号:JP19920077469U

申请日期:1992.10.13

申请公布日期:1994.05.06

分类号:B65G1/02;B65G1/00;H01L21/673;H01L21/68;(IPC1-7):B65G1/02

主分类号:B65G1/02

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