CARRIER TO BE USED FOR FILM CARRIER TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE
申请公布号：JPH04363043(A)
申请号：JP19910180634
申请日期：1991.07.22
申请公布日期：1992.12.15
发明人：KIKKAI AKIRA
分类号：H01L21/60
主分类号：H01L21/60
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