RADIATION DETECTOR ARRAY USING RADIATION SENSITIVE BRIDGES.
申请公布号:EP0429566(A1)
申请号:EP19900904547
申请日期:1990.01.30
申请公布日期:1991.06.05
发明人:GRINBERG, JAN;WELKOWSKY, MURRAY, S.;WU, CHIUNG-SHENG;BRAATZ, PAUL, A.
分类号:G01J1/02;G01J5/02;G01J5/10;G01J5/12;G01J5/20;G01J5/22;G01J5/28;G01J5/52;H01L27/14;H01L27/146;H01L31/10;H01L31/16;H01L33/00;H01L35/28
主分类号:G01J1/02
摘要:Un simulateur infrarouge (IR) est présenté dans lequel un réseau de pixels est défini sur un substrat isolant par des ponts de résistance qui sont en contact avec le substrat à des endroits espacés et sont séparés du substrat, et par conséquent thermiquement isolés de celui-ci, entre les endroits de contact. Des circuits de commande à semi-conducteurs situés sur le substrat permettent au courant désiré de circuler dans les ponts de résistance en réponse aux signaux de contrôle d'entrée, en établissant ainsi le rayonnement IR approprié pour chacun des pixels. Les circuits de commande et également au moins quelques unes des lignes électriques principales sont préférablement situés sous les ponts de résistance. Un réflecteur thermique placé sous chaque pont fait écran au circuit de commande et réfléchit le rayonnement pour accroître la sortie en IR. Les circuits de commande utilisent des circuits échantillonneurs-bloqueurs qui produisent un fonctionnement pratiquement exempt de scintillement, les ponts de résistance ayant leur impédance accordée à leurs circuits de commande respectifs. Les ponts de résistance peuvent être formés par recouvrement des ponts de base isolants d'une couche résistante possédant les propriétés requises, et par recouvrement des couches résistantes avec un matériau émettant de la chaleur. Préférablement, le réseau est formé sur une tranche de silicorum sur saphir (SOS). Des réseaux de détecteurs avec des ponts pour le rayonnement électromagnétique peuvent également être formés, les ponts ayant des structures de connexion avec des résistances, un thermocouplage ou suivant le type de Schottky.
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