FORMATION OF THIN FILM TRANSISTOR

申请公布号：JPH02159730(A)

申请号：JP19880315654

申请日期：1988.12.14

申请公布日期：1990.06.19

申请人：

SONY CORP

发明人：HAYASHI HISAO;KAWAMURA AKESHI;HASHIMOTO YOSHIHIRO;YOSHIDA KAZUYOSHI

分类号：H01L29/78;H01L21/336;H01L29/786

主分类号：H01L29/78

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