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FILM THICKNESS MONITOR AND VAPOR DEPOSITION DEVICE USING SAME MONITOR

申请公布号:JPH02145765(A)

申请号:JP19880295941

申请日期:1988.11.25

申请公布日期:1990.06.05

申请人:
HITACHI LTD

发明人:SATO TOSHIHIKO;HAYASHIDA TETSUYA

分类号:C23C14/54

主分类号:C23C14/54

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