SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE
申请公布号:JPS6411323(A)
申请号:JP19870167498
申请日期:1987.07.03
申请公布日期:1989.01.13
发明人:SAMEJIMA TOSHIYUKI;USUI SETSUO
分类号:H01L21/22;H01L21/265;H01L21/268
主分类号:H01L21/22
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