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SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE

申请公布号:JPS6411323(A)

申请号:JP19870167498

申请日期:1987.07.03

申请公布日期:1989.01.13

申请人:
SONY CORP

发明人:SAMEJIMA TOSHIYUKI;USUI SETSUO

分类号:H01L21/22;H01L21/265;H01L21/268

主分类号:H01L21/22

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