MARK DETECTION METHOD

申请公布号：JPS6115325(A)

申请号：JP19840135132

申请日期：1984.07.02

申请公布日期：1986.01.23

申请人：

HITACHI SEISAKUSHO KK

发明人：MATSUOKA GENYA;OKUMURA MASAHIDE;MATSUZAKA TAKASHI

分类号：G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30

主分类号：G03F9/00

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