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AUTOMATICALLY LOADABLE MULTIFACETED ELECTRODE WITH LOAD LOCK MECHANISM

申请公布号:GB2142658(A)

申请号:GB19840012829

申请日期:1984.05.18

申请公布日期:1985.01.23

申请人:
* LFE CORPORATION

发明人:JOHN G * HAJJ

分类号:B65G49/07;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/68

主分类号:B65G49/07

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