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DRY ETCHING METHOD

申请公布号:JPS57190320(A)

申请号:JP19810074843

申请日期:1981.05.20

申请公布日期:1982.11.22

申请人:
TOKYO SHIBAURA DENKI KK

发明人:OKANO HARUO;HORIIKE YASUHIRO

分类号:H01J37/34;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/30

主分类号:H01J37/34

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