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PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE

申请公布号:JPS5272171(A)

申请号:JP19750148850

申请日期:1975.12.12

申请公布日期:1977.06.16

申请人:
MITSUBISHI ELECTRIC CORP

发明人:SAKURAI HIROMI;TAKADA IKUNORI

分类号:H01L21/316;H01L21/31

主分类号:H01L21/316

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