PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE

申请公布号：JPS5253675(A)

申请号：JP19750129221

申请日期：1975.10.29

申请公布日期：1977.04.30

申请人：

HITACHI LTD

发明人：SAKAI YOSHIO;HORI RIYOUICHI;KUBO SEIJI

分类号：H01L29/78;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/86;H01L29/786

主分类号：H01L29/78

DECIMATION METHOD FOR PROVIDING PIG WINDOWS

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