BELICHTUNGSVORRICHTUNG.

申请公布号：DE59105735(D1)

申请号：DE19915005735

申请日期：1991.05.02

申请公布日期：1995.07.20

申请人：

FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V., 80636 MUENCHEN, DE

发明人：VOGT, HOLGER, D-4330 MUELHEIM 13, DE;KUECK, HEINZ, D-4100 DUISBURG 28, DE;HESS, GUNTHER, D-4100 DUISBURG 1, DE;GEHNER, ANDREAS, D-4100 DUISBURG 1, DE

分类号：G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20

主分类号：G03F7/20

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