SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE

申请公布号：JPH05267301(A)

申请号：JP19920064431

申请日期：1992.03.23

申请公布日期：1993.10.15

分类号：H01L21/3205;H01L21/822;H01L23/52;H01L27/04;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/320;H01L29/784

主分类号：H01L21/3205

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